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lifaung
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加入日期: Aug 2001
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引用:
作者healthfirst.
DUV無須多重曝光就能做到1 nm
不知道真假

論文是論文
能不能量產?


self alignment....

那要看論文內容細節才能知道, 但是不看好實際應用
layout 限制會很大
     
      
舊 2024-05-20, 04:47 PM #1431
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lifaung離線中