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lifaung
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加入日期: Aug 2001
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引用:
作者AirStorms
對手陣營當時有更先進的技術可以讓客戶選擇?

鑑於當時的技術背景,追求最新晶片技術採用多重曝光,

付出良率與成本的代價是正常邏輯思維。


相對於現在?

技術與良率、成本三輸下,很難想像說這種作法可以得到支持,

有就辛苦了你,考古挖文幫忙了。


你應該不知道現在實際上DUV多重曝光依然是選項....
如果不是很複雜的7nm依然可選用
舊 2023-09-14, 01:56 PM #537
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