DUV穩了 EUV也快了

EUV級光刻機的三大核心技術的第二項，被中國哈爾濱工業大學成功突破。

2023年4月13日，長春光機所官網公布消息，中國科學院院士、中國科學院前院長白春禮在長春光機所參觀了EUV光源系統